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技术参数:
1、较优秀标准平面(A面),工作直径D1=φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
2、第二标准平面(B面),工作直径D2=φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
3、准直系统:工作直径φ146mm,孔径F/2.8,焦距f=400mm
4、测微目镜:焦距f=16.7mm;
5、视场角:2W=40?;放大倍数β=15X
6、成像物镜:D=7,F=16
7、光源规格:ZN18(He-Ne)
8、干涉室尺:φ480*380*285mm
原旧站参数地址:
“用户的需要就是我们的追求”
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